1. Íonachta
Ba cheart go mbeadh íonacht an sputtering sputtering ar a laghad 99.95 faoin gcéad. Dá airde an íonacht, is amhlaidh is fearr feidhmíocht an scannáin sputtered.
2. Dlús
Ba chóir go mbeadh dlús coibhneasta an sputtering sputtering níos mó ná 98 faoin gcéad. Is féidir leis an sprioc le dlús níos airde splancadh na gcáithníní scannáin a laghdú le linn an phróisis sciath, rud a fheabhsóidh cáilíocht an scannáin.
3. Struchtúr gráin
moluibdín Is struchtúr polycrystalline é sprioc sputtering. Le linn sputtering, is furasta na sprioc-adaimh a sputtered amach feadh na treo is dlúithe de na hadaimh heicseagánach. D'fhonn an ráta sputtering uasta a bhaint amach, is gá an ráta sputtering a mhéadú trí struchtúr criostail an sprioc a athrú.
4. Méid gráin
Is féidir leis an méid gráin a bheith idir miocrón agus milliméadar. Tá ráta sputtering an sprioc leis an grán fíneáil níos tapúla ná an sprioc le grán garbh, agus tá dáileadh tiús an scannáin taiscthe freisin sách aonfhoirmeach don sprioc le difríocht mhéid gráin beag.
5. Sprioc agus fonnadh a cheangal
Roimh sputtering, ba chóir an sprioc a nascadh leis an chassis copair saor ó ocsaigine chun a chinntiú go bhfuil an seoltacht teirmeach idir an sprioc agus an chassis maith. Tar éis ceangailteach, déanfar iniúchadh ultrasonaic chun a chinntiú go bhfuil an limistéar neamhcheangailteach den dá cheann níos lú ná 2 faoin gcéad, chun riachtanais sputtering ardchumhachta a chomhlíonadh.
