Céim I: Bhí corrlaigh brabúis arda ag teilgcheártaí luath-sliseanna. Úsáideann siad go príomha meaisíní sputtering maighnéadrón 100-150mm le cumhacht íseal. Tá an scannán sputtering tiubh agus tá méid na sliseanna mór.
Ag an am sin,spriocanna tíotáiniami gcás ciorcaid iomlánaithe ba spriocanna monaiméirí agus ilchodacha 100-150mm go príomha.
Céim Ⅱ:
Sa dara céim, de réir dhlí Moore, déantar leithead na líne sliseanna níos cúinge. D'fhonn brabúis a mhéadú, mhéadaigh an teilgcheárta sliseanna cumhacht sputtering an trealaimh, ag baint úsáide as trealamh sputtering 150-200mm go príomha. Éilíonn sé seo méid na sprice a mhéadú agus seoltacht ard teirmeach, praghas íseal, agus neart áirithe á chothabháil. Le linn na tréimhse seo,spriocanna tíotáiniamcomhdhéanta den chuid is mó de tháthú idirleathadh de backplane cóimhiotal alúmanaim agus prásála agus táthú de backplane cóimhiotal copair.
Céim III :
Sa tríú céim, le forbairt ciorcaid chomhtháite, déantar leithead na línte sliseanna a chaolú tuilleadh. Ag an am seo, úsáideann teilgcheártaí sliseanna go príomha 200-300mm meaisíní sputtering, agus tá na ceanglais maidir le sprioc-ábhar níos déine. Le linn na tréimhse seo, beidh anTi spriocdéanta go príomha de táthú idirleata backplate cóimhiotal copair.
